簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="帶電粒子"


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    利用蒙地卡羅法與粒子網格法分析整合式陽極層離子源離子束濺鍍模組特性研究
    • 光電工程研究所 /110/ 博士
    • 研究生: 陳敬修 指導教授: 趙良君
    • 本研究提出了一種整合式陽極層離子源離子束濺鍍模組(Integrated Anode Layer Ion Source Ion Beam Sputtering Module, IAIBS),並建立粒子…
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    • 全文公開日期 2025/01/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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